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簡述日立掃描電鏡的盲點知識

更新時間:2022-04-24       點擊次數(shù):1531
  日立掃描電鏡作為商用電鏡面世以來迅速發(fā)展起來的一種新型的電子光學(xué)儀器,被廣泛地應(yīng)用于化學(xué)、生物、醫(yī)學(xué)、冶金、材料、半導(dǎo)體制造、微電路檢查等各個研究領(lǐng)域和工業(yè)部門。它的制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大、保真度高、有真實的三維效應(yīng)等,對于導(dǎo)電材料,可直接放入樣品室進行分析,對于導(dǎo)電性差或絕緣的樣品則需要噴鍍導(dǎo)電層。
  今天小編要與大家分享的是日立掃描電鏡的盲點知識:
  1、掃描式顯微鏡有一重要特色是具有超大的景深,約為光學(xué)顯微鏡的300倍,使得掃描式顯微鏡比光學(xué)顯微鏡更適合觀察表面起伏程度較大的樣品。
  2、其系統(tǒng)設(shè)計由上而下,由電子槍發(fā)射電子束,經(jīng)過一組磁透鏡聚焦聚焦后,用遮蔽孔徑選擇電子束的尺寸后,通過一組控制電子束的掃描線圈,再透過物鏡聚焦,打在樣品上,在樣品的上側(cè)裝有訊號接收器,用以擇取二次電子或背向散射電子成像。
  3、電子槍的必要特性是亮度要高、電子能量散布要小,目前常用的種類計有三種,鎢燈絲、六硼化鑭燈絲、場發(fā)射,不同的燈絲在電子源大小、電流量、電流穩(wěn)定度及電子源壽命等均有差異。
  4、熱游離方式電子槍有鎢燈絲及六硼化鑭燈絲兩種,它是利用高溫使電子具有足夠的能量去克服電子槍材料的功函數(shù)能障而逃離。對發(fā)射電流密度有重大影響的變量是溫度和功函數(shù),但因操作電子槍時均希望能以低的溫度來操作,以減少材料的揮發(fā),所以在操作溫度不提高的狀況下,就需采用低功函數(shù)的材料來提高發(fā)射電流密度。
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