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了解日立掃描電鏡各組成部件功能特點(diǎn)才能更好的使用它

更新時(shí)間:2025-02-18       點(diǎn)擊次數(shù):411
  日立掃描電鏡具備高分辨率、高靈敏度及強(qiáng)大的自動(dòng)化功能,能夠清晰地觀察樣品表面的微觀形貌和結(jié)構(gòu)。它結(jié)合了電子光學(xué)系統(tǒng)和信號檢測系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了從低倍到高倍、從材料表面到深層的分析,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、工業(yè)分析、生物學(xué)及醫(yī)學(xué)研究等領(lǐng)域。
 
  日立掃描電鏡的核心部件包括電子光學(xué)系統(tǒng)、信號檢測系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和控制系統(tǒng),各部件協(xié)同工作,共同完成樣品表面形貌和成分的分析任務(wù)。
 

 

  一、電子光學(xué)系統(tǒng)
 
  電子光學(xué)系統(tǒng)是核心部件,負(fù)責(zé)產(chǎn)生和聚焦電子束,并掃描樣品表面。
 
  1、電子槍:產(chǎn)生高能電子束,常見類型包括熱發(fā)射電子槍和場發(fā)射電子槍。
 
  2、電磁透鏡:聚焦電子束,使其匯聚到樣品表面。
 
  3、掃描線圈:控制電子束在樣品表面進(jìn)行掃描。
 
  4、光闌:控制電子束的束流強(qiáng)度和束斑大小。
 
  二、信號檢測系統(tǒng)
 
  信號檢測系統(tǒng)負(fù)責(zé)收集和檢測電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的各種信號,并將其轉(zhuǎn)換為圖像或數(shù)據(jù)。
 
  1、二次電子探測器:檢測樣品表面發(fā)射的二次電子,用于觀察樣品表面形貌。
 
  2、背散射電子探測器:檢測樣品表面反射的背散射電子,用于觀察樣品表面成分和晶體取向。
 
  3、X射線能譜儀:檢測樣品表面發(fā)射的特征X射線,用于分析樣品元素組成。
 
  三、真空系統(tǒng)
 
  真空系統(tǒng)負(fù)責(zé)維持儀器內(nèi)部的高真空環(huán)境,以確保電子束的正常運(yùn)行和信號的準(zhǔn)確檢測。
 
  1、機(jī)械泵:抽取真空腔室內(nèi)的氣體,達(dá)到初級真空。
 
  2、分子泵:進(jìn)一步抽取真空腔室內(nèi)的氣體,達(dá)到高真空。
 
  3、真空計(jì):監(jiān)測真空腔室內(nèi)的真空度。
 
  四、控制系統(tǒng)
 
  控制系統(tǒng)負(fù)責(zé)控制各個(gè)部件,并處理和分析檢測到的信號。
 
  1、計(jì)算機(jī):控制儀器運(yùn)行,并處理和分析檢測到的信號。
 
  2、軟件:提供用戶界面,方便用戶操作和分析數(shù)據(jù)。
 
  日立掃描電鏡這些部件的精密設(shè)計(jì)和良好性能保證了在科學(xué)研究和工程應(yīng)用中發(fā)揮著重要作用,為人類探索微觀世界提供了強(qiáng)大的工具支持。
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